La plateforme de Microsystèmes Neuronaux fournit un environnement de pointe dans lequel de nouvelles neurotechnologies, telles que l'électronique flexible ou de nouveaux capteurs neuronaux peuvent être développées.
La plate-forme de microsystèmes neuronaux comprend une salle blanche de 200 m² ISO 5 à ISO 7, une zone de microscopie avancée et une installation de micro-machinage laser.
La plate-forme comprend des équipements de pointe pour:
- Unité de photolithographie équipée de systèmes d'exposition UV avec masques et laser sans masques ainsi que d'appareils de dépose de résine et de développement manuels et semi automatiques
- Dépôt avec pulvérisation cathodique co-focalisée
- Gravure au plasma pour films minces de métal (Pt, Ti), oxydes, silicium, plastiques et silicone et micro-ondes et décapants RF
- Microscopie avancée avec un SEM de pression variable Hitachi pour des échantillons conducteurs, non conducteurs et biologiques et des microscopes conventionnels Nikon
- Métrologie avec profileur optique et mécanique
- Découpe au laser avec un laser Optec femtoseconde haute définition
Une zone dédiée au procédé silicon / PDMS avec un équipement approprié est également disponible.
Des ingénieurs expérimentés sont disponibles pour former et soutenir les utilisateurs à chaque étape de leur projet.
Équipe de Recherche
